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( スマホ ) 作成日 ： 2015/06/19
シリコン単結晶薄膜生成のための真空実験装置について
説明する小林さん
( 三鷹市のデジテックス研究所で )
│
│
小
林
さ
ん
が
次
々
と
新
し
い
こ
と
に
挑
戦
す
る
姿
に
驚
か
さ
れ
ま
す
。
今
は
ど
ん
な
仕
事
を
し
て
い
ま
す
か
？
「
創
業
以
来
23
年
に
な
り
ま
す
が
、
有
線
通
信
で
は
、
光
フ
ァ
イ
バ
│
を
鉄
道
会
社
、
Ｎ
Ｔ
Ｔ
、
国
土
交
通
省
な
ど
か
ら
入
手
し
、
光
フ
ァ
イ
バ
│
網
の
運
用
サ
│
ビ
ス
を
提
供
し
て
い
ま
す
。
提
供
先
は
東
大
地
震
研
究
所
(
３
０
０
㎞
に
及
ぶ
)
、
そ
の
他
大
学
や
Ｃ
Ａ
Ｔ
Ｖ
事
業
者
テ
レ
ビ
局
な
ど
で
す
。
ま
た
、
成
田
空
港
内
で
２
０
０
回
線
ほ
ど
の
Ａ
Ｄ
Ｓ
Ｌ
を
納
入
し
保
守
を
し
て
い
ま
す
。
無
線
事
業
は
Ｅ
バ
ン
ド
(
７
０
・
８
０
Ｇ
Ｈ
Ｚ
帯
)
、
Ｖ
バ
ン
ド
│
│
│
│
│
│
│
│
│
│
│
│
(
注
１
)
Ｇ
Ｈ
Ｚ
(
ギ
ガ
ヘ
ル
ツ
)
＝
周
波
数
や
振
動
数
の
単
位
で
１
秒
間
に
10
億
回
を
意
味
す
る
。
(
注
２
)
Ｍ
ｂ
ｐ
Ｓ
(
メ
ガ
ビ
ッ
ト
毎
秒
)
＝
通
信
速
度
の
単
位
。
１
Ｍ
ｂ
ｐ
Ｓ
は
１
０
０
万
ｂ
ｐ
Ｓ
で
１
秒
間
に
１
０
０
万
ビ
ッ
ト
の
デ
│
タ
を
送
れ
る
こ
と
を
表
す
。
(
６
０
Ｇ
Ｈ
Ｚ
帯
)
を
利
用
し
た
超
高
速
通
信
装
置
を
販
売
し
て
い
ま
す
。
Ｗ
ｉ
Ｆ
ｉ
無
線
で
は
エ
リ
ク
ソ
ン
社
の
日
本
総
代
理
店
と
し
て
全
国
の
大
学
、
病
院
、
観
光
地
、
企
業
に
無
線
機
を
敷
設
し
て
い
ま
す
。
最
近
の
例
で
は
、
浅
草
の
商
店
街
の
フ
リ
│
ス
ポ
ツ
卜
、
長
野
県
の
野
沢
温
泉
ス
キ
│
場
へ
Ｗ
ｉ
Ｆ
ｉ
無
線
装
置
を
敷
設
し
ま
し
た
。
接
続
認
証
ソ
フ
ト
は
自
社
開
発
し
ま
し
た
。
「
１
芯
の
光
フ
ァ
イ
バ
│
を
用
い
る
こ
と
で
、
２
５
０
０
Ｍ
ｂ
ｐ
ｓ
の
高
速
イ
ン
タ
│
ネ
ッ
ト
接
続
と
地
デ
ジ
、
Ｂ
Ｓ
／
Ｃ
Ｓ
の
テ
レ
ビ
配
信
サ
│
ビ
ス
が
同
時
に
可
能
と
な
り
ま
し
た
。
」
ス
キ
│
場
側
は
接
続
す
る
人
は
ど
こ
の
国
の
人
が
何
人
い
る
か
、
い
つ
利
用
し
て
い
る
か
を
即
座
に
把
握
で
き
ま
す
。
自
画
撮
り
シ
ス
テ
ム
に
登
録
す
る
と
、
滑
っ
て
い
る
自
分
の
姿
を
カ
メ
ラ
が
白
動
で
撮
影
し
、
ス
マ
ホ
で
見
る
こ
と
が
で
き
ま
す
。
」
│
│
長
崎
県
の
五
島
列
島
で
事
業
を
し
て
い
る
そ
う
で
す
が
。
│
│
三
鷹
の
研
究
所
で
両
期
的
な
実
験
を
続
け
て
い
る
と
聞
き
ま
し
た
。
「
当
社
の
取
締
役
だ
っ
た
故
浅
川
俊
文
氏
(
フ
ァ
ミ
コ
ン
チ
ッ
プ
の
設
計
責
任
者
)
の
特
許
に
基
づ
く
実
験
で
す
。
シ
リ
コ
ン
の
単
結
晶
薄
膜
を
ガ
ラ
ス
面
に
生
成
す
る
技
術
で
、
大
手
企
業
と
共
同
実
験
中
で
す
。
現
在
の
太
陽
電
池
は
多
結
晶
シ
リ
コ
ン
を
使
っ
て
い
ま
す
が
、
単
結
晶
化
で
き
れ
ば
、
シ
リ
コ
ン
薄
膜
の
中
を
流
れ
る
電
子
の
速
度
が
高
速
化
し
、
太
陽
電
池
の
発
電
量
が
２
倍
に
な
り
ま
す
。
」
│
│
と
こ
ろ
で
、
小
林
さ
ん
は
Ａ
Ｄ
Ｓ
Ｌ
を
日
本
に
最
も
早
く
紹
介
し
た
男
と
言
わ
れ
て
い
ま
す
ね
。
「
Ａ
Ｔ
＆
Ｔ
パ
ラ
ダ
イ
ン
と
い
う
Ａ
Ｔ
＆
Ｔ
傘
下
の
会
社
の
日
本
法
人
の
経
営
者
と
し
て
Ａ
Ｄ
Ｓ
Ｌ
モ
デ
ム
の
開
発
に
関
与
し
て
い
ま
し
た
。
米
国
ベ
ル
研
究
所
(
７
人
の
ノ
│
ベ
ル
受
賞
者
を
輩
出
)
と
Ａ
Ｔ
＆
Ｔ
パ
ラ
ダ
イ
ン
社
が
共
同
で
行
い
１
９
９
０
年
前
後
に
Ｌ
Ｓ
Ｉ
チ
ツ
プ
が
完
成
し
ま
し
た
。
従
来
の
モ
デ
ム
の
１
５
０
倍
の
速
度
で
す
。
私
か
モ
デ
ム
を
取
り
扱
う
よ
う
に
な
っ
た
経
緯
は
、
リ
コ
│
の
社
員
か
ら
脱
サ
ラ
し
て
、
両
国
高
校
の
同
窓
の
川
合
克
明
君
と
山
分
正
起
君
か
ら
１
０
０
万
円
の
出
資
を
受
け
て
会
社
を
立
ち
上
げ
、
そ
の
後
、
米
国
パ
ラ
ダ
イ
ン
社
か
ら
資
本
提
供
を
受
け
た
の
で
、
投
資
し
て
く
れ
た
友
人
に
は
プ
ラ
ス
ア
ル
フ
ァ
で
返
金
し
、
米
国
資
本
の
日
本
パ
ラ
ダ
イ
ン
と
い
う
モ
デ
ム
販
売
会
社
を
立
ち
上
げ
ま
し
た
。
そ
の
後
、
Ａ
Ｔ
＆
Ｔ
の
本
社
買
収
で
社
名
も
日
本
Ａ
Ｔ
＆
Ｔ
パ
ラ
ダ
イ
ン
㈱
に
な
り
ま
す
」
│
│
リ
コ
│
を
辞
め
て
独
立
す
る
な
ん
て
家
族
の
反
対
は
な
か
っ
た
で
す
か
？
「
辞
め
て
か
ら
報
告
し
ま
し
た
。
当
時
は
銀
行
の
オ
ン
ラ
イ
ン
化
で
モ
デ
ム
需
要
が
増
大
、
パ
ラ
ダ
イ
ン
社
の
高
性
能
な
モ
デ
ム
は
飛
ぶ
よ
う
に
売
れ
ま
し
た
。
売
り
上
げ
ゼ
ロ
か
ら
９
年
間
で
年
商
27
億
４
０
０
０
万
円
、
社
員
数
70
名
に
な
り
ま
し
た
。
」
│
│
Ａ
Ｄ
Ｓ
Ｌ
に
乗
り
出
す
き
っ
<<
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